UV光氧等離子一體機處理方法采用的核心技術；用低溫等離子體釋放高壓產生高能量電子，直接分解廢氣因子種昂的有害氣體，是其降解為二氧化碳和水等，在利用光接觸的作用，降解尚未完成的各類有害氣體，達到凈化效果。將兩種設備的優點集合在一體，利用等離子分解技術和uv光氧催化技術相結合，對工業產生的廢氣進行高效協同凈化處理，等離子光氧一體機主要具有高效率、運行成本偏低、占地面積不大并且沒有任何機械動作的好處。等離子光氧化一體機的前段主要處理含有油性氣體或者煙氣，后段主要處理voc有機廢氣的氣味。

等離子部分處理：當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子*先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。

UV光氧部分處理：采用高能C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細菌，將有毒有害物質破壞且改變成為低分子無害物質。在C波段激光刺激催化劑涂層產生活性，強化催化氧化作用。在分解過程中產生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有極強的清除效果，徹底達到脫臭及殺滅菌的目的。


UV光氧等離子一體機廣泛應用于噴漆廠除臭、橡膠廠除臭、塑料廠、油漆廠除臭、噴涂車間除臭、電子廠除臭、造紙廠除臭、電路板廠、包裝廠等臭氣凈化場合。