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實驗室高純氣路布局

實驗室供氣系統的功能

滿足不同實驗的要求和安全性，雙瓶采用匯流排供氣設備，具有手動、半自動和全自動切換功能，并沒有低壓報警裝置，實時監控氣壓、濃度檢測報警和排確保客戶正常用氣和生命財產安全。

氣路系統常用設備

鋼瓶(氣體壓縮機)、鋼瓶國定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、金厘軟管、半自動開關裝置、**減壓器、二級減壓器、焊接三通、焊接大、小封頭、夾緊套情閥、不銹鋼管(BA)、壓力表、可燃有毒氣體監測報警裝置等。

實驗室集中供氣系統技術要求

1、氣瓶存放室:

(1)氣瓶之間應采用300毫米厚的實心墻，安裝防爆門，設置防爆裔

(2)室內電氣設備應具有防爆功能:

(3)應安裝排氣扇，隨時保持良好的通風狀態

2、供氣系統需要兩級減壓供氣。供氣匯流排減壓，氣體從15MPa減壓到小于1.5MPa，然后輸送到每個氣體使用實驗室。二級減壓器安裝在每個用氣實驗室或用氣點，便于對通風柜或儀表的氣體輸送壓力進行統一控制，用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器。二級減壓器**調節壓力(.01兆怕，獲得穩定的壓力，可以滿足儀器對不同使用壓力的要求，**減壓器和二級減壓器均配有壓力表，可實時顯示當前壓力.

3，采用雙側匯流排半自動方式連續供氣，實驗室使用要求，更換氣瓶時，可以通過安裝在高壓軟管下方的夾緊衰更換氣瓶。

4、氫氣和乙快是。應設計氣體泄漏檢測和報警裝置，并安裝陽火器，以防止明火回流。應確保放置易燃和助燃氣體的足夠安全距離.

實驗室高純氣路布局1,高純氣體管道系統的布置不同于普通氣體管道。一般來說，要求管道不要太長，不要有死角，如不容易吹干凈的“盲管”。主管或支管的未端應提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續使用的用戶中，讓少量氣體在管道未端連續排出，從而管道中的氣體將正常流動，避免出現”死區，根據工藝氣體的質量要求，必憑時應設置終端凈化裝置。一般來說，控制閥、過減器、減壓裝置、壓力表、流量計、在分析儀器等，進入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于

統一管理和控制。2.高純氣路管道及管道附屋材料高純氣體管道輸送管道應根據工藝對氣體純度、允許雜質含量、顆粒含量等的不同要求，采用相應質量的管道。例，半號體工業僅需要清潔的生產環境，而目由于其復雜的生產過程和精細加工，對生產過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴格的要求，從微米技術到亞徽米和深亞微米小于0.35um)技術，對氣體中雜質含量和水分含量的要求非常嚴格，10-6 ppm級)不能滿足要求，需要達到10-9 (ppb級)其至10-12pt級)，粉塵粒經要控制在0.05-0.01 um。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。

3,管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道，影響氣體質量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性.供氣系統管道安裝要求

1、管道教設應符合設計要求，設計沒有要求時，千氣管道應水平安裝 輸送濕氣的管道應安裝坡度不小于0.003，城度應期向冷疑水收集器2.管道采用焊接連接，鎢極盒礦煤打底，手工電弧焊看蓋。不銹鋼管焊接或點煤應采取充氯保護措施,3.氣體管道和設備，閥門和其他附性應通過法蘭或想紋連接，慢紋接頭的填料必須是娶四氧了,烯演膜.

4、氣體管道穿過潔凈室時，法蘭墊片或擺紋填料的外露部分，必須清理干凈:5,氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化無縫鋼管時，必須采用集中安裝方式，安裝應在48小時內分段組合，每氣保護，填充壓力不小于0.2兆帕6對干有接地要滅的燃氣管道，法蘭之間必須是接導電剛線，導休截面和煤接塔接長度應符合設計要求，俱與必須定固可靠

供氣管道安裝注意事項1.所有氣體管道由高質量、退火和無縫不銹鋼管組成，銅管僅用于輸氣管道的末端，對氣體純度的要求不太嚴格。(例如通風櫥)。2、氣路安裝管道不得數設電纜和導電線。

3，如7快，要要與其他氣體分開到入，復與營道與其他可燃氣體管道平行數設時，其間距不得小于05M交叉數設時間間隔不得小于025米，分層教設時營氣管道應位于上方。

4壓縮空氣有凈化裝置，用于過演管道上的雜質和水分。凈化裝置需要并聯連接，并通過單獨的閥門分開，以便于過演裝置的維護5.高純氣體管道的連接采用無縫焊接。接頭配件只能在連接到閥門或調節裝置時使用。

6、每個實驗室應有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表,7通向工作臺的氣體管道應安裝單獨的控制闊。工作臺應設置均勻排放各種氣體的控制閥。建議在氨氣管道前安裝一個氣體凈化裝置8、每廈15米左右，氣體管道需妻一個支架。此外，根據氣體管道的查曲半徑，設置合活的支架位置，必須支持所有查曲。做氣管道安裝管道的所有支架均應鍍鋅防腐處理。

實驗室高純氣路布局