CL系列探針臺(tái)，晶圓測(cè)試探針臺(tái)

臺(tái)體規(guī)格：

尺寸：4英寸/6英寸/8英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程：4英寸*4英寸/6英寸*6英寸

X-Y移動(dòng)精度：10微米/1微米

樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)：可升降10mm

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，**多可放置6個(gè)探針座

背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

外形尺寸：400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高

重量：約40千克/60千克

光學(xué)系統(tǒng)：

顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素

探針座

X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

針尖材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

可選附件

加熱臺(tái)、顯示器、轉(zhuǎn)接頭、射頻測(cè)試配件、屏蔽箱、光學(xué)平臺(tái)、鍍金卡盤、光電測(cè)試配件、高壓測(cè)試配件、顯微鏡快速傾仰裝置、激光系統(tǒng)、探針卡夾具。