1)預處理階段預處理選用填料式噴淋洗刷塔，噴淋液挑選堿液酸性氣體進行中和處理或許選用干式過濾器對粉塵進行過濾處理。

2)活性炭吸附階段通過前面的預處理后，廢氣通入后端的活性炭吸附/脫附塔進行吸附處理，通過活性炭微孔的氣體吸附在活性炭表面，去除廢氣中，抵達凈化氣體的作用。

3)活性炭脫附階段當吸附床吸附飽滿后，切換脫附風閥和吸附風閥，發起脫附風機對該吸附床脫附。脫附新鮮空氣首先要通過新風換熱器和電加熱室進行加熱，將新鮮空氣加熱到120℃左右進入活性炭床，炭床受熱后，活性炭吸附的溶劑蒸騰出來。

4)催化燃燒階段

5)溶劑經風機送入到催化燃燒室前的換熱器，然后進入催化燃燒室中的預熱器，在電加熱器的作用下，使氣體溫度前進到250-300℃左右，再進入催化燃燒床，物質在催化劑的作用下無焰燃燒，被分解為CO2和H2O，一同放出許多的熱，氣體溫度進一步前進，該高溫氣體再次通過換熱器預熱未經處理的氣體，收回一部分熱量。從換熱器出來的氣體再通過新風換熱器對脫附新鮮空氣進行加熱，通過換熱后的氣體通過煙囪引高排放。