|
|
|||||||||||||||||
主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。
二、參數(shù)
|
名稱 |
規(guī)格 |
耐溫性 |
應(yīng)用 |
|
PFA花籃 PP Cassette
|
2寸 |
-200~260℃ |
酸堿傳輸制程 |
|
4寸 |
|||
|
6寸 |
三、特點(diǎn)
1.耐腐蝕：耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿
2.搭配可活動(dòng)把手，用于晶圓芯片清洗運(yùn)輸
3.耐高低溫：-200~260℃
4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無(wú)關(guān)；
5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無(wú)污染
7.化學(xué)性能穩(wěn)定
公司擁有三十多年PFA制品生產(chǎn)加工經(jīng)驗(yàn)，公司投入大量人力、物力致力于太陽(yáng)能光伏相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)，截止目前，公司推出的光伏用--太陽(yáng)能硅片花籃，太陽(yáng)能硅片承載器,硅片花藍(lán),,半導(dǎo)體清洗花籃。
產(chǎn)品名稱:6″特富龍卡匣/ PFA晶舟盒
尺寸:179 (L) * 147 (W) * 175 (H)毫米
重量:1045.4克
能力:25PCS
晶圓尺寸:6英寸(?150mm)
材料:聚四氟乙烯/ PFA
槽距:4.76毫米
南京濱正紅儀器有限公司
|
