催化燃燒設備也叫著燃燒裝置，都是用來處理廢氣的一種設備。該設備主要有熱交換裝置、燃燒室、催化反應設備、熱回收系統和煙氣排放設備等部分構成。該設備需要借助催化劑，從而才能將有機廢氣在較低的起燃溫度下進行無焰燃燒，其它工作原理和流程可以分為以下三種。

(1)、吸附
這種方式主要用來處理大流量、低濃度、低溫度的有機廢氣。這種廢氣當采用催化燃燒來進行處理時需要消耗掉大量的燃料，通常處理節約燃料角度來考慮，可以行采用吸附的方式將廢氣吸附到吸附劑，比如我們所熟知的活性炭等。吸附后進行濃縮，再通過熱空氣吹掃，使其脫附變成濃度較高的氣體后再進行燃燒分解，這種方式也是不需要額外的補充熱量可以正常的運行。

(2)、預熱式

這種屬于比較基本的流程工藝，由于催化劑都有一個主要原理是有機廢氣的溫度在100℃以下并且濃度較低的情況下，這種情況熱量一般是不能自給的，因此需要在進入反應器之前，需要在預熱室內對其進行加熱升溫。一般所采用的預熱方式主要有煤氣或電加熱，這二種方式可以將廢氣升溫到催化反應所需要的起燃溫度，從而達到燃燒氧化分解的目的，燃燒氧化后的氣體在熱交換器內和沒有處理的廢氣進行熱交換，從而可以回收部分的熱量。

(3)、自身熱平衡

有機廢氣溫度比較高而且有機物的含量也比較高，在通常情況下只需要在催化燃燒設備的燃燒室中，用電加熱器供起起燃，然后再由交換器進行回收部分凈化過的氣體所產生的熱量。這種的好處是在正常操作下就可以維持住熱平衡，不需要額外補充熱量。