先將有機廢氣直接引入催化燃燒裝置，在開始階段需通過電加熱器將其溫度升高至反應需要的溫度，廢氣在催化催化劑作用發生氧化放熱反應生成無害的H2O和CO2，分解后釋放出的熱量通過熱交換器加熱進入催化床的有機廢氣，當有機廢氣的濃度達到一定的濃度時，放熱和熱交換所需要熱量達到平衡，無需電加熱，通過自身平衡處理掉高濃度有機廢氣。因烘干廢氣溫度和有機物濃度都較高，對分解反應及熱量回收有利，減少設備運行及投資費用。

有機廢氣經干式過濾器去除部分粉塵、顆粒物，然后將符合吸附條件的有機廢氣送入活性炭吸附箱進行吸附凈化，凈化后的潔凈氣體由主排風機排入大氣中。吸附裝置配有備用吸附箱1套，當活性炭吸附飽和后通過控制閥門切換至催化燃燒脫附狀態；脫附再生系統采用在線脫附再生，即吸附過程為連續式處理工藝，在備用吸附裝置投入使用同時，飽和吸附箱則進行脫附工作，脫附后活性炭箱預備至下次循環使用。