電子無塵車間要求：

潔凈室(區)設計時，空氣潔凈度等級所處狀態(空態、靜態、動態)應與業主協商確定。

各種電子產品生產環境的空氣潔凈度等級應根據生產工藝要求確定；無要求時，可按本規范附錄A確定。

潔凈室(區)的溫度和相對濕度應按表3．2 3確定。

潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。

潔凈廠房內各潔凈室(區)的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。

有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：

1 運行班次或使用時間不同；

2 生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染，對產品質量或操作人員健康、安全有影響；

3 對溫、濕度控制要求差別大；

4 潔凈室(區)內工藝設備發熱相差懸殊；

5 凈化空調系統與一般空調系統；

6 系統風量過大的凈化空調系統。

潔凈室(區)內的溫度、相對濕度應符合本規范第3．2．3條的規定。

潔凈室(區)的清掃方式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區)宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統，潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷。

氣流流型的設計，應符合下列要求：

1 氣流流型應滿足產品生產工藝和空氣潔凈度等級的要求。空氣潔凈度等級為1～5級時，應采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流；

凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室(區)面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統，

潔凈廠房的潔凈室(區)送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區)使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。

多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風，應集中處理。

風機過濾器機組的設置應符合下列要求：

1 應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；

2 應按潔凈室(區)內生產工藝對氣流流型的要求布置；

3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；

4 送風量應能調節；

5 應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。

層流罩的設置應符合下列要求：

1 潔凈室(區)內等于或嚴于5級的局部凈化區域宜采用層流罩；

2 層流罩的形式和進風方式應根據生產工藝或設備需要選用；

3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；

4 安裝方式不應影響生產操作。

潔凈室(區)的排風系統設計，應符合下列要求：

1 應防止室外氣流倒灌；

2 含有易燃、易爆物質的局部排風系統應按其物理化學性質采取相應防火防爆措施；

3 局部排風系統排出的有害氣體，當其有害物質濃度超過排放標準時，應采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應滿足國家現行有關排放標準的規定；

4 對含有水蒸氣或凝結物質的排風系統，應設置坡度及排放口；

5 排風介質中含有劇毒物質時，應設置備用排風機和處理設備，并應設置應急電源；

6 排風介質中含易燃、易爆等危險物質或工藝可靠性要求較高時，應設置備用排風機，并應設置應急電源；

7 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統，其風量應按在正常運行和事故情況下，風管內爆炸危險氣體和粉塵的濃度不于爆炸下限的20％計；

8 排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風系統，應設置消除靜電的接地裝置。

凈化空調系統的風管、配件、過濾器以及密封材料等，應根據輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。

在集中設置的空氣過濾器的前后，應設置測壓孔或指針式壓差計。在新風管、送風、回風總管段上，應設置風量測定孔。

風管附件及輔助材料的防火性能，應符合下列規定：

1 凈化空調系統、排風系統的風管應采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質的風管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作；

2 排煙系統的風管應采用不燃材料制作；

3 附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。