位移傳感器又稱為線性傳感器，是一種屬于金屬感應的線性器件，傳感器的作用是把各種被測物理量轉換為電量。在生產過程中，位移的測量一般分為測量實物尺寸和機械位移兩種。按被測變量變換的形式不同，位移傳感器可分為模擬式和數字式兩種。模擬式又可分為物性型和結構型兩種。常用位移傳感器以模擬式結構型居多，包括電位器式位移傳感器、電感式位移傳感器、自整角機、電容式位移傳感器、電渦流式位移傳感器、霍爾式位移傳感器等。
模擬量和數字量為當前主流的兩款 輸出形式.
數字式位移傳感器的一個重要優點是便于將信號直接送入計算機系統。這種傳感器發展迅速，應用日益廣泛。
傳感器 851S001、851S003、851S005、851S007 （軸向電纜）
傳感器 851S002、851S004、851S006、851S008 （徑向電纜）
A型 彈簧推動
B型 真空提升
C型氣壓驅動波紋管密封
D型氣壓驅動,氣隙密封
851S001A/00/00**/007A
851S002B/004B/006B/008B
851S001C/003C/005C/007C
851S002D/004D/006D/008D
851S002A/004A/006A/008A
851S001B/003B/005B/007B
851S002C/004/C006C/008C
851S001D/003D/005D/007D
技術參數- 相同參數
**行程
4.6mm
測量行程
±2mm
支撐方式
球軸承
測頭旋轉
全行程1°
溫度范圍
－10°C～65°C,使用/存放溫度
安裝位置
任意
主體直徑
Φ8h6
電纜
聚亞安脂（PUR）,長2m
插頭
5線,270°
重復精度
0.01um
維修
可修理,可拆單元
測頭
Φ3mm硬質合金球,M2.5螺紋連接,可更換
線圈型式
851S001、851S002
半橋式
851S003、851S004
全橋式（LVDT）
851S005、851S006
全橋式（LVDT）與Marposs兼容
851S007、851S008
Mahr兼容
驅動頻率
851S001、851S002
13kHz±5%
供電電壓
851S001、851S002
3V±0.5％RMS
851S003、851S004
5kHz±5%
851S003、851S004
3V±0.5％RMS
851S005、851S006
7.5kHz±5%
851S005、851S006
3V±0.5％RMS
851S007、851S008
20kHz±5%
851S007、851S008
5V±0.5％RMS
靈敏度
851S001、851S002
73.75±0.15mV/（V?mm） （輸入電阻R=2KΩ±0.1％）
851S003、851S004
150mV/（V?mm） （輸入電阻R=100KΩ）
851S005、851S006
210mV/（V?mm） （輸入電阻R=100KΩ）
851S007、851S008
184mV/（V?mm） （輸入電阻為正常阻抗）
線性誤差
851S001、851S002
0.25％FS±1000um 范圍（20°C±1°C）
851S003、851S004
0.25％FS±1000um 范圍（20°C±1°C）
851S005、851S006
0.25％FS±1000um 范圍（20°C±1°C）
851S007、851S008
0.3％FS±1000um 范圍（20°C±1°C）
不同參數
型號
A型
B型
C型
D型
預行程 / 默認設置
可調 / -1.2mm
可調 / -1.2mm
可調 / +2.8mm
可調 / +2.8mm
壽命
大于1000萬次
大于1000萬次
――
大于1000萬次
防護套
FPM/FKM（氟橡膠）
FPM/FKM（氟橡膠）
FPM/FKM（氟橡膠）
――
提升 / 驅動
無
真空提升
氣壓驅動
氣壓驅動
**壓力
――
――
2.0bar
6.0bar
傳感器851S009（軸向電纜）/851S010（徑向電纜）
概述
A型 彈簧推動
B型 真空提升
C型氣壓驅動,波紋管密封
D型氣壓驅動,氣隙密封
851S009A
851S010A
851S010B
851S010C
851S010D
技術參數-相同參數
**行程
2.5mm
測量行程
±1mm
支撐方式
球軸承
測頭旋轉
全行程1°
溫度范圍
－10°C～65°C,使用/存放溫度
安裝位置
任意
主體直徑
Φ8h6
電纜
聚亞安脂（PUR）,長2m
插頭
5線,270°
重復精度
0.02um
驅動頻率
13kHz±5%
供電電壓
3V±0.5％RMS
線圈型式
半橋式
線性誤差
0.6％FS±1000um 范圍（20°C±1°C）
測頭
Φ2mm硬質合金球,不可更換
預行程
不可調
靈敏度
73.75±0.15mV/（V?mm） （輸入電阻R=2KΩ±0.1％）
不同參數
型號
A型
B型
C型
D型
壽命
大于1000萬次
大于1000萬次
――
大于1000萬次
防護套
FPM/FKM（氟橡膠）
FPM/FKM（氟橡膠）
FPM/FKM（氟橡膠）
――
提升 / 驅動
無
真空提升
氣壓驅動
氣壓驅動
**壓力
――
――
1.**r
6.0bar
測量力
0.4N±50％（電位零點）
0.4N±50％（電位零點）
0.6bar時,0.6N；0.8 bar時,1N（電位零）
0.8bar時,0.6N；1.1 bar時,1N（電位零）
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