技術參數
|
技術參數 |
Ra、Rz=Ry(JIS)、Rq、Rt=Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr 增加Rpc、Rk、 Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
||
|
傳感器 |
測量原理 |
電感式 |
|
|
測量范圍 |
Z軸(垂直)160μm / X軸(水平)17.5mm(0.71inch) |
||
|
針尖半徑 |
5μm針尖半徑 |
||
|
針尖材料 |
天然金剛石 |
||
|
觸針測力 |
4mN |
||
|
觸針角度 |
90° |
||
|
導頭縱向半徑 |
45mm |
||
|
**驅動行程 |
17.5 |
||
|
量程和分辨力 |
±20μm |
0.01μm |
|
|
±40μm |
0.02μm |
||
|
±80μm |
0.04μm |
||
|
濾波器 |
RC、PC-RC、Gauss、D-P |
||
|
取樣長度 |
0.25mm、0.8mm、2.5mm |
||
|
評定長度 |
1L~5L(可選,L為取樣長度) |
||
|
示值誤差 |
±10% |
||
|
示值重復性 |
≤6% |
||
|
工作環境 |
溫度:-20oC~40oC
相對濕度:<90%RH
|
||
|
外型尺寸及重量 |
主機:158x63.5x46mm,約300g; |
||
|
電源 |
內置電池:鋰離子充電電池;
電源適配器:用DC5V,800mA充電器充電
|
||
|