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廣州廣電計量檢測股份股份有限公司
主營:環境可靠性測試; NVH測試; AECQ100認證; AECQ200認證; AECQ101認證; AECQ102認證; 液態溫沖測試; DO-160測試; 振動噪音測試; 異響測試; 六性設計與分析; 元器件篩選; 破壞性物理分析; 失效分析; 
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聚焦離子束(FIB)的具體應用與發展

2021年05月04日舉報編輯打印
聚焦離子束(FIB)的具體應用與發展
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關鍵詞:
FIB測試  FIB  聚焦離子束  
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詳細介紹

廣電計量可以做AEC-Q-100認證報告,AEC-Q-101認證報告,AEC-Q-102認證報告, AEC-Q-104認證報告,AEC-Q-200認證報告,元器件篩選,破壞性物理分析,NVH測試

廣州廣電計量檢測股份有限公司(股票簡稱:廣電計量,股票代碼:002967)始建于1964,是原信息產業部電子602計量站,經過50余年的發展,現已成為一家全國化、綜合性的國有第三方計量檢測機構,專注于為客戶提供計量、檢測、認證以及技術咨詢與培訓等專業技術服務,在計量校準、可靠性與環境試驗、電磁兼容檢測等多個領域的技術能力及業務規模處于國內**水平.

1、聚焦離子束技術(FIB

聚焦離子束技術Focused Ion beam,FIB)是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的離子束轟擊材料表面,實現材料的剝離、沉積、注入、切割和改性。隨著納米科技的發展,納米尺度制造業發展迅速,而納米加工就是納米制造業的核心部分,納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發展起來的聚焦離子束技術FIB)利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工,配合掃描電鏡(SEM)等高倍數電子顯微鏡實時觀察,成為了納米級分析、制造的主要方法。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改、離子注入、切割和故障分析等

2. 聚焦離子束技術(FIB)可為客戶解決的產品質量問題

1)在IC生產工藝中,發現微區電路蝕刻有錯誤,可利用FIB的切割,斷開原來的電路,再使用定區域噴金,搭接到其他電路上,實現電路修改,**精度可達5nm。

2)產品表面存在微納米級缺陷,如異物、腐蝕、氧化等問題,需觀察缺陷與基材的界面情況,利用FIB就可以準確定位切割,制備缺陷位置截面樣品,再利用SEM觀察界面情況。

3)微米級尺寸的樣品,經過表面處理形成薄膜,需要觀察薄膜的結構、與基材的結合程度,可利用FIB切割制樣,再使用SEM觀察。

3. 聚焦離子束技術(FIB)注意事項

1)樣品大小5×5×1cm,當樣品過大需切割取樣。

2)樣品需導電,不導電樣品必須能噴金增加導電性。

3)切割深度必須小于50微米。

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