低溫等離子體工業(yè)廢氣處理成套設(shè)備和技術(shù)是在原電暈放電基礎(chǔ)上由高頻高壓電場通過尖端放電產(chǎn)生的新一代低溫等離子體技術(shù)具有能量高、電子發(fā)射密度高等特點，其凈化原理如下：
1、在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能或動能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團(tuán)，當(dāng)污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。
2、等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，同時產(chǎn)生的大量OH、HO、O等活性自由基和氧化性極強(qiáng)的O，能與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成無害產(chǎn)物。
3、物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。
4、生物作用表現(xiàn)在具有消毒殺菌之功效。機(jī)理為：等等離子體中的正負(fù)粒子使微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于其細(xì)胞膜表面張力，致使細(xì)胞膜遭到破壞而導(dǎo)致微生物死亡。