光氧催化設備主要利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S，VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物的分子鏈在高能紫外線的光束的照射下降解轉變成低分子化合物，如CO2和H2O等。
光氧催化設備的工作原理如下：
一、光氧催化廢氣處理設備利用特制的高能光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體（如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯）的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。
二、光氧催化廢氣處理設備利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊（活性氧）O+O2→O3（臭氧），臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它異味有很效率的清除效果。

三、光氧催化廢氣處理設備利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及殺滅細菌的目的。
四、特制催化劑：根據不同的廢氣成分配置27種以上相對應的惰性催化劑，催化劑采用蜂窩狀金屬網孔作為載體，大方位與光源接觸，惰性催化劑在338納米光源以下發生催化反應，放大10-30倍光源效果，使其與廢氣進行充分反應，縮短廢氣與光源接觸時間，從而提高廢氣凈化效率，催化劑還具有類似于植物光合作用，對廢氣進行凈化效果