1、 潔凈車間—加工的精密化

　　現(xiàn)代產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進入亞微米量級，而且正在向更小的量級發(fā)展：利用分子束外延技術(shù)已可按一個一個原子層來生長單晶材料；利用離子束刻蝕技術(shù)也可以對半導(dǎo)體材料進行一個一個原子的刻蝕剝離等等。因此，科學(xué)界提出了在本世紀末可能進行原子級加工的設(shè)想，即加工的幾何圖形寬度可以小到幾個原子的線度。

　　2、 潔凈車間—產(chǎn)品的微型化

　　原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件，現(xiàn)在縮減到零點幾立方厘米，其中：集成電鍍的圖形距已小到不足1um，一個電子元件的二氧化硅保護膜厚0.5um，光致抗蝕劑厚度只有0.2um，而各層甚至只有0.03um。

　　3、 潔凈車間—產(chǎn)品的高純度(或高質(zhì)量)

　　由過去認為很純的“化學(xué)純”進入今天“電子純”、“超純”時代的藥品、試劑，以及各種超純材料，都是在高純度基礎(chǔ)上才能使原料充分發(fā)揮其固有特性或者呈現(xiàn)出新的特性。

　　4、潔凈車間—產(chǎn)品的高可靠性

　　高可靠性對于電子化、自動化時代的產(chǎn)品，對于確保人的安全的無菌操作，對于分子生物學(xué)的遺傳工程都有特殊重要的意義。